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產品詳細頁
韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統
- 產(chan)品型號：NanoView-1800
- 更新時間：2023-03-20
- 產品介(jie)紹：韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統型號：NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產品介紹
韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統
型(xing)號：NanoView-1800/NanoView-2400/NanoView-2700
高精度非接(jie)觸(chu)式表面形貌(mao)檢(jian)測
無(wu)損(sun)3D表面輪廓分析
宜用平臺(tai)提供快速(su)、高效的(de)(de)工藝流(liu)程(cheng)的(de)(de)監控
全面、直觀的(de)軟件提供(gong)了式樣(yang)和應用靈活性
主(zhu)要(yao)功能
3D形貌測量
高，深，間(jian)隔（從納米(mi)級到5mm）
粗糙度(du)（R參(can)數）表面（S參數）
面(mian)積(ji)(ji)信息(xi)（體積(ji)(ji)，面(mian)積(ji)(ji)）
2D測量
NanoView可靠性(xing)在許(xu)多應用領域發揮性(xing)能。
NanoView 提供(gong)完(wan)整的表(biao)面(mian)形貌(mao)納米測(ce)量和分析技術方案。
韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統
NV-Serise技術參數
型號 | NanoView-1800 | NanoView-2400 | NanoView-2700 |
測(ce)量原理 | 非接觸三維 白光掃描干涉法（WSI）/移相干涉法(fa)（PSI） | ||
現場(chang)放大鏡 | 1.0×（標配） | 1.0×（標配(pei)） | 1.0×（標配） |
物(wu)鏡 | 單鏡頭 | 可選5個鏡頭（手動(dong)鼻(bi)輪） | 可選5個(ge)鏡(jing)頭(tou)（自動鼻輪(lun)） |
光(guang)源 | 白光LED光源 | ||
掃描方式 | 閉環控制壓(ya)電促動掃描方式 | ||
縱向(xiang)掃(sao)描范(fan)圍 | Max 270um（可拓展到：5mm） | ||
縱(zong)向掃描速度 | ≤12um/sec（1X~5X倍率可選） | ||
傾斜(xie) | ±3°（樣品臺傾斜） | 頭部傾斜±5°（手動(dong)模式(shi)） | 頭部傾斜±5°（自動(dong)模式） |
縱(zong)向分(fen)辨率 | WSI:＜0.5nm / PSI:＜0.1nm | ||
橫向分辨率 | 0.2~4um（取決于物鏡/視場放大鏡倍率） | ||
臺階重復性 | ＜0.5%（1s） | ||
XY樣品臺(tai)行程 | 140×140mm（手動） | 230×230mm（自(zi)動） | 230×230mm（自(zi)動(dong)） |
XY樣品臺行程 | 50×50mm（手動） | 100×100mm（手動） | 100×100mm（自(zi)動） |
Z軸行程 | 30mm（手動） | 100mm（手動(dong)） | 100mm（自動） |
環(huan)境要求 | 溫度：15~30℃，溫度變化量：＜1℃/15min 濕度：＜60%，無(wu)凝結 | ||