聯系我們
- 上海首立實業有限公司
- 公司地(di)址:上海市閔行區古美路1471號華城廣場307室
- 公司傳(chuan)真:86-21-54933358-813
- 聯系QQ:
掃一掃,立刻溝通
你的位置:首頁 > 產品展示 > > 韓國NanoSystem >韓國NanoSystem非接觸表(biao)面輪廓(kuo)儀
產品詳細(xi)頁(ye)韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀
- 產品(pin)型(xing)號:NV-2400
- 更新時間:2023-03-20
- 產(chan)品(pin)介紹:韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀型號:NV-1800/NV-2400/NV-2700韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產品介紹
韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀
型(xing)號:NV-1800/NV-2400/NV-2700
韓國NanoSystem非(fei)接觸(chu)光學表面形貌測量系統
高精度非(fei)接觸式表面形貌檢測(ce)
無損3D表面輪廓分析
宜用平臺(tai)提供快速、高效(xiao)的(de)工藝流(liu)程的(de)監(jian)控
全(quan)面、直觀的軟(ruan)件提供了式樣和(he)應用靈活性
主要(yao)功能(neng)
3D形貌測量
高,深,間隔(從納米級(ji)到(dao)5mm)
粗糙度(du)(R參數)表(biao)面(S參(can)數)
面積(ji)(ji)信息(xi)(體積(ji)(ji),面積(ji)(ji))
2D測量(liang)
NanoView可靠(kao)性在(zai)許多應用領域發揮性能。
NanoView 提供完整的表面形貌納(na)米測量和分析(xi)技術(shu)方案。
韓國NanoSystem非接觸(chu)表面(mian)輪廓(kuo)儀(yi)
NV-Serise技術(shu)參數(shu)
型號 | NV-1800 | NV-2400 | NV-2700 |
測量原理 | 非接觸三維 白光掃描干涉法(WSI)/移相干涉法(PSI) | ||
現場放(fang)大鏡 | 1.0×(標配) | 1.0×(標配) | 1.0×(標(biao)配) |
物(wu)鏡 | 單鏡頭 | 可選5個鏡(jing)頭(手動鼻輪) | 可選5個鏡頭(tou)(自(zi)動鼻輪(lun)) |
光源(yuan) | 白光LED光源 | ||
掃(sao)描方式 | 閉環控制壓電(dian)促(cu)動掃描方(fang)式 | ||
縱向掃描范(fan)圍(wei) | Max 270um(可拓展到:5mm) | ||
縱向掃描速(su)度(du) | ≤12um/sec(1X~5X倍率可選) | ||
傾(qing)斜 | ±3°(樣品臺傾斜) | 頭部傾斜±5°(手動模式) | 頭部傾斜±5°(自動模式) |
縱向分(fen)辨率 | WSI:<0.5nm / PSI:<0.1nm | ||
橫向分(fen)辨率(lv) | 0.2~4um(取決于(yu)物鏡/視(shi)場放(fang)大鏡倍率) | ||
臺階重復性(xing) | <0.5%(1s) | ||
XY樣品臺行程 | 140×140mm(手動) | 230×230mm(自(zi)動) | 230×230mm(自動) |
XY樣品臺行(xing)程 | 50×50mm(手動) | 100×100mm(手動) | 100×100mm(自(zi)動) |
Z軸行程 | 30mm(手動) | 100mm(手動) | 100mm(自動) |
環境(jing)要(yao)求 | 溫度:15~30℃,溫(wen)度變(bian)化量:<1℃/15min 濕度:<60%,無凝結 |