產品介紹

寫真化學膜厚測量裝置

標準型號可測量膜厚對(dui)象：

抗蝕劑厚(hou)度

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻(bo)璃粘(zhan)合晶片

端點檢測

貼合晶片等

自(zi)動映射膜厚儀

可(ke)測量膜厚對象：

抗蝕劑厚度

貼合晶片(pian)

多孔膜

ITO

多晶(jing)硅

電池電極

玻璃(li)粘合晶(jing)片(pian)

帶(dai)圖案(an)晶片等

分(fen)為：標準型(xing)號(hao)、紅(hong)外透射(she)(she)式(shi)型(xing)號(hao)、自動映(ying)射(she)(she)膜厚(hou)儀、成像膜厚(hou)儀

寫真化學膜厚測量裝置

通用型(xing)膜厚監(jian)視器(標準型號)

● 可(ke)用作(zuo)端點監視器(qi)

● 也(ye)可以對應粘接(jie)劑(ji)層、玻璃(li)層等通常(chang)較難測量(liang)的材料

通用型膜厚監(jian)視器(qi)(紅外透(tou)射式型號)

● 對應反(fan)射弱的薄膜材料

● 可對應(ying)卷對卷測量(liang)

自動映射膜厚儀(yi)

● 除了高速自動映射、等高線、3D圖顯示之外，還自動解析(xi)直(zhi)方圖等統計信息

● 標準對應φ100～300mm的圓形(xing)晶圓，也可對應(ying)方形(xing)被測物等特(te)殊形(xing)狀，可選(xuan)配定制(zhi)載(zai)物臺板

● 可(ke)對應選配項目中的自動校準

成像(xiang)膜厚儀

● 微細二維膜(mo)厚分布原位的(de)可視化

● 通(tong)過在GUI上區域(yu)，計(ji)算微小區域(yu)的膜(mo)厚