微量氣體分析儀

產(chan)品(pin)型(xing)號(hao)：GA-360E
更(geng)新時(shi)間：2023-03-18
產品介紹：微量氣體分析儀
它是可以對用于半導體工藝的混合氣體（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度（檢測感度可至10ppb）連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理。
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產品介紹

微量氣體分析儀

產(chan)品性(xing)能

1分析儀(yi)可以搭載(zai)CO/CO2/CH4中的2種(zhong)成(cheng)分，2種(zhong)成(cheng)分可同(tong)時(shi)以數字形(xing)式顯示(shi)濃度(du)。

采用了(le)交替流動調制方式(shi)，沒有零點(dian)漂移，可以獲得長期穩定的連續檢測值。

不需要進行光學調整，維護(hu)性得到了提高。

由(you)于搭(da)載(zai)有流量（壓力）異常(chang)、斷(duan)路器（電(dian)磁(ci)閥）、失火報警（GA-360E）、電(dian)源斷(duan)開的自我診斷(duan)功(gong)能，所以能夠迅速(su)地在發(fa)生(sheng)異常(chang)時(shi)采(cai)取措施。

微量氣體分析儀

產品技術(shu)規格

測量原理	GA-360E:交替流動調制方式(shi)非分散(san)紅(hong)外線分析法
GA-360E	交替流動調制方式火焰電離檢驗方法
檢測對象氣體	GA-360E:CO/CO2/CH4內可選取2種成分(fen)
檢測量程	GA-360E:0?1/2/5/10ppm